2023年9月18日，大族激光(002008.SZ)近来在互动渠道表明，现在，公司光刻机项目首要运用在在分立器材范畴，分辨率3-5μm；其间，挨近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已发动用户优化，公司将根据市场需求及事务开展情况继续拟定研制方案，并加大研制核心部件国产化。
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